GB50467-2008微电子生产设备安装工程施工及验收规范 规范名称:微电子生产设备安装工程施工及验收规范 规范号:GB50467-2008 发布日期:2002-01-10 实施日期:2002-03-01 获取码:GB78ApmJ #产设备安 #微电子生 #装工程施